特徴

  • TMALは蒸気圧を有する有機金属化合物で、高純度酸化アルミの前駆体として、MO-CVDの材料として用いられます。
  • 当社TMALは品質安定性、容器使用率等、安定した高品質を維持しており、トラブルにも即座に対応できる体制が整っています。

基本情報

化学名 トリメチルアルミニウム
(Trimethylaluminum)
構造式 TMAL
分子量 72.09 CAS番号 75-24-1
化審法 2-2227 TSCA 登録
EC番号 200-853-0

一般的性質

外観 無色~淡黄色透明液体 沸点 127℃
融点 15℃ 引火点 自然発火性
比重・密度 0.752g/ml(25℃)

荷姿

  • 内装:SUS容器(25g、100g、300g、600g)
  • 外装:ペール缶
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