- TMALは蒸気圧を有する有機金属化合物で、高純度酸化アルミの前駆体として、MO-CVDの材料として用いられます。
- 当社TMALは品質安定性、容器使用率等、安定した高品質を維持しており、トラブルにも即座に対応できる体制が整っています。
基本情報
| 化学名 | トリメチルアルミニウム (Trimethylaluminum) |
構造式 |  |
|---|---|---|---|
| 分子量 | 72.09 | CAS番号 | 75-24-1 |
| 化審法 | 2-2227 | TSCA | 登録 |
| EC番号 | 200-853-0 |
荷姿
- 内装：SUS容器（25g、100g、300g、600g）
- 外装：ペール缶
