特徴

  • レジスト用のモノマーとして有用な化合物です。
  • 形成されるレジスト被膜は、強酸性条件で保護基であるtーブチル基が脱離することにより、極性溶媒への溶解性が向上します。
  • 電子材料用途として金属不純物は極めて低レベルに抑えられています。

基本情報

化学名 p-tert-ブトキシスチレン
(p-tert-Butoxystyrene)
構造式 PTBS
分子量 176.25 CAS番号 95418-58-9
化審法 3-4138 TSCA 未登録
EC番号 未登録

一般的性質

外観 淡黄色透明液体 沸点 92℃(0.67kPa)
融点 -22℃ 引火点 104℃(クリーブランド開放式)
比重・密度 0.933(25℃)

荷姿

18kg缶、180kgドラム

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