コラム
2021.12.21
NEDO CF3I写真

NEDOとの共同プロジェクトによりCF3Iを実用化

東ソー・ファインケム株式会社(前身:東ソー・エフテック株式会社)は1999年に量産化技術開発を目指す社内プロジェクトを発足し、2002年に開始したNEDOとの共同プロジェクトにより世界初の合成法でフロン・ハロン代替材料を開発いたしました。

地球温暖化防止のためフロン・ハロン代替材料が求められる時代に

1980年代後半、オゾン層を破壊するフロンなどの物質の使用に制限がかかり、1995年末までに、規制の対象となるいくつかの物質が全廃となりました。さらに1990年代後半からは、フロンの代替物質や地球温暖化をもたらすとされるその他の温室効果ガスも、使用制限や抑制が求められています。

半導体製造に必要なエッチング剤や冷媒に使われてきたフロン。消火剤として使われてきたハロン。これらは、オゾン層破壊防止や地球温暖化防止に向けた規制対象物質です。これらの代わりになる、環境に負担のかからない代替製品が求められてきました。

当社はこの社会的課題に応えるため、環境負荷の少ない低温暖化係数(GWP)物質のCF3Iを実用化をいたしました。
NEDOプロジェクト秘話については下記サイトをご覧ください。

https://www.nedo.go.jp/hyoukabu/articles/201207f_tech/index.html

 

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