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ELECTRONIC MATERIAL
電子材料
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MO-CVD材料
酸発生剤
分子式 or 構造式
製品名
化学名
CAS番号
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S-PAG
メチル 2,2-ジフルオロ-2-(フルオロスルホニル)アセテート
(Methyl 2,2-difluoro-2-(fluorosulfonyl)acetate)
(Methyl 2,2-difluoro-2-(fluorosulfonyl)acetate)
680-15-9