ELECTRONIC MATERIAL

電子材料

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フォトレジストモノマー

分子式 or 構造式
製品名
化学名
CAS番号
詳細ページ
PACS
PACS
ｐ-アセトキシスチレン
(p-Acetoxystyrene)
2628-16-2
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PTBS
PTBS
ｐ-tert-ブトキシスチレン
(p-tert-Butoxystyrene）
95418-58-9
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PEES-2
PEES
ｐ-（１-エトキシエトキシ）スチレン
(p-(1-Ethoxyethoxy)styrene）
157057-20-0
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エッチングガス

分子式 or 構造式
製品名
化学名
CAS番号
詳細ページ
CF3I-1
FITECT® (CF3I)
ヨウ化トリフルオロメタン
(Trifluoroiodomethane)
2314-97-8
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SDSはこちら

MO-CVD材料

分子式 or 構造式
製品名
化学名
CAS番号
詳細ページ
TMAL
EG-TMAL
トリメチルアルミニウム
(Trimethylaluminum)
75-24-1
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TMI
EG-TMI
トリメチルインジウム
(Trimethylindium)
3385-78-2
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酸発生剤

分子式 or 構造式
製品名
化学名
CAS番号
詳細ページ
S-PAG
S-PAG
メチル 2,2-ジフルオロ-2-（フルオロスルホニル）アセテート
(Methyl 2,2-difluoro-2-(fluorosulfonyl)acetate)
680-15-9
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